Studium počátečních fází růstu kovových vrstev metodami počítačové fyziky

Abstract

Tato práce se zabývá popisem a analýzou obrazových dat, souvisejících s počátečními fázemi růstu tenkých vrstev. Úvodní rešeršní část obsahuje popis tenkých vrstev a způsoby jejich tvorby. Následuje přehled používaných modelů růstu tenkých vrstev. Jádrem práce je pak analýza a modifikace morfologických metod a interpretace jejich výsledků. Důraz je kladen na statistickou povahu metod a jejich optimální implementaci vzhledem k přesnosti výsledku. Práce ukazuje, jak lze modifikovat radiální distribuční funkci a metody založené na Voronoiově dláždění a Delaunayově triangulaci tak, aby lépe postihovaly charakter testovaných dat. Nové metody jsou testovány na experimentálních i modelových datech, sledována je jejich robustnost, citlivost a jejich vzájemná nezávislost. V návaznosti na to je představen a analyzován nový model růstu tenkých vrstev.

This work deals with the description and analysis of image data, which related to the initial stages of the thin film growth. The introductory retrieval section includes a description of thin films and methods of their deposition. The following part is an overview of the growth models of thin layers. The heart of my thesis is the analysis and modification of morphological methods and interpretation of their results. The emphasis is placed on the statistical aspect of methods and their optimal implementation due to the accuracy of the results. The work shows how to modify the radial distribution function and methods based on so-called Voronoi and Delaunay triangulation tessellation so that they can better affect the character of test data. New methods are tested both on the experimental and model data. Then we examine their robustness, sensitivity and their mutual independence. At the conclusion it is introduced and analyzed a new model of thin film growth.