Modifikace hrotu pro zobrazování nanostruktur v AFM s vysokým rozlišením

Abstract

Mikroskopie atomárních sil (AFM) je mladá a široce používaná metoda zob- razování povrchu, nanostruktur, biologických a dalších citlivých objektů pomocí rastrujícího hrotu na ohebném raménku. Při provozu na vzduchu dosahuje rozli- šení několika nanometrů, toto rozlišení je závislé zejména na používaném hrotu. Předložená práce se zabývá modifikací použitých hrotů pomocí uhlíkových nano- trubiček (CNT) v řádkovacím elektronovém mikroskopu (SEM) za využití tech- niky fokusovaného iontového svazku (FIB) a soustavy vstřikování plynných pre- kurzorů (GIS). Je zde prezentováno několik postupů přípravy vzorků CNT a jejich připevnění na hrot pro AFM. Funkčnost hrotů byla ověřována v AFM za pomoci kalibračních vzorků složených z definovaných nanostruktur. 1

Atomic force microscopy (AFM) is a young and widely used method of ima- ging surface, nanostructures, biological and other sensitive objects using sharp tip on a flexible cantilever scanning the sample surface. When operating in air it reaches resolution of about several nanometers. The resolution is mainly depen- dent on the used tip. The thesis deals with modification of old tips by carbon nanotubes (CNT) in scanning electron microscope (SEM) using techniques inclu- ding focused ion beam (FIB) and gas injection system (GIS). Several procedures of CNT sample preparation and attaching the CNT on tip are presented. The functionality of modified tips was checked in AFM using the calibration sample consisting of well-defined nanostructures. 1