Difuzní rtg reflexe na drsných multivrstvách

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá teorií difúzního rozptylu rentgenového záření na drsných multivrstvách. V úvodní kapitole shrneme některé základní principy - statistické vlastnosti rozhraní, Fresnellovy koeficienty, teorii rozptylu, atd. - které následně použijeme k odvození vztahů pro spekulární odraz a difúzní rozptyl od drsných rozhraní, která budeme považovat za náhodné fraktály. Použití těchto odvozených vztahů budeme demonstrovat při měření na multivrstvě složené z vrstev a a substrátu z minerálního skla. Naměřená data budeme fitovat na odvozené funkce pomocí programu Matlab. Drsnosti rozhraní navíc změříme pomocí AFM mikroskopu a srovnáme tyto dvě metody měření. 2SiO 2ZrO

This bachelor work follows with the theory of diffusion x-ray scattering from rough multilayers. In the first chapter we will recap some basic principles - statitistic properties of interfaces, Fresnell coefficients, scattering theory, etc. - this stuff we will use to derive the expressions for specular reflection and diffusion scattering from rough interfaces, which we will consider as the random fractals. We will demonstrate the use of these derived expressions at a measurement on the multilayers coumpounded from and layers and substrate of mineral glass. Fitting of the measured data on the derived expressions will be done with Matlab software. Moreover, we will measure the roughness of interfaces with AFM microscope and we will compare these two measuring metodes. 2SiO 2ZrO