Show simple item record

Diagnostics of plazma in the deposition sources using the Langmuir probes
dc.contributor.advisorKousal, Jaroslav
dc.creatorŠedivý, Petr
dc.date.accessioned2017-04-27T22:16:25Z
dc.date.available2017-04-27T22:16:25Z
dc.date.issued2011
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/20.500.11956/38661
dc.description.abstractTato experimentální práce se zabývá měřením základních vlastností plazmatu - plazmového potenciálu, elektronové teploty a hustoty částic. Jako měřicí metody byly zvoleny Langmuirovy sondy - zvláště jednoduchá sonda. Na začátku práce jsou vyloženy krátce základní vlastnosti plazmatu, dále je popsána metodika určování jednotlivých parametrů plazmatu z voltampérové charakteristiky sondy. Třetí kapitola se věnuje samotnému experimentálnímu popisu sondy, aparatury a s nimi spojenou obsluhu. Plazma, které bylo měřeno v rámci této práce, pocházelo od nového dutého magnetronu, který bude sloužit jako budoucí zdroj nanočástic. Výsledky práce se soustřeďují na popsání jednotlivých veličin plazmatu v závislosti na dalších proměnných, jako jsou výkon magnetronu, tlak plynu, prostorová závislost, přítomnost dalšího vnějšího magnetického pole.cs_CZ
dc.description.abstractThis experimental work is concerned with measurement of elementary characteristics of plasma - potential of plasma, electron temperature and density of particles. As research methods were selected the Langmuir probes - especially the single probe. At the beginning of the thesis there are explained shortly the elementary characteristics of plasma and the procedure of determination particular parameters of the plasma from the volt-ampere characteristics of the probe. The third chapter is focused on description of the experiment, the probe, the apparatus and its control. Plasma measured within this work originated from the new hollow magnetron which will serve as future source of nanoparticles. Results of the work are focused on the description of individual parameters of the plasma in dependence on other variables such as the magnetron power, pressure of gas, spatial dependence or presence of additional auxiliary magnetic field.en_US
dc.languageČeštinacs_CZ
dc.language.isocs_CZ
dc.publisherUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.subjectLangmuirovy sondycs_CZ
dc.subjectdiagnostika plazmatucs_CZ
dc.subjectdepoziční zdrojecs_CZ
dc.subjectjednoduchá sondacs_CZ
dc.subjectdvojná sondacs_CZ
dc.subjectLangmuir probesen_US
dc.subjectdiagnostics of plazmaen_US
dc.subjectdeposition sourcesen_US
dc.subjectsimple probeen_US
dc.subjectdouble probeen_US
dc.titleDiagnostika plazmatu depozičních zdrojů pomocí Langmuirových sondcs_CZ
dc.typebakalářská prácecs_CZ
dcterms.created2011
dcterms.dateAccepted2011-06-23
dc.description.departmentDepartment of Macromolecular Physicsen_US
dc.description.departmentKatedra makromolekulární fyzikycs_CZ
dc.description.facultyFaculty of Mathematics and Physicsen_US
dc.description.facultyMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.identifier.repId89352
dc.title.translatedDiagnostics of plazma in the deposition sources using the Langmuir probesen_US
dc.contributor.refereeKylián, Ondřej
dc.identifier.aleph001370251
thesis.degree.nameBc.
thesis.degree.levelbakalářskécs_CZ
thesis.degree.disciplineGeneral Physicsen_US
thesis.degree.disciplineObecná fyzikacs_CZ
thesis.degree.programPhysicsen_US
thesis.degree.programFyzikacs_CZ
uk.faculty-name.csMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
uk.faculty-name.enFaculty of Mathematics and Physicsen_US
uk.faculty-abbr.csMFFcs_CZ
uk.degree-discipline.csObecná fyzikacs_CZ
uk.degree-discipline.enGeneral Physicsen_US
uk.degree-program.csFyzikacs_CZ
uk.degree-program.enPhysicsen_US
thesis.grade.csVýborněcs_CZ
thesis.grade.enExcellenten_US
uk.abstract.csTato experimentální práce se zabývá měřením základních vlastností plazmatu - plazmového potenciálu, elektronové teploty a hustoty částic. Jako měřicí metody byly zvoleny Langmuirovy sondy - zvláště jednoduchá sonda. Na začátku práce jsou vyloženy krátce základní vlastnosti plazmatu, dále je popsána metodika určování jednotlivých parametrů plazmatu z voltampérové charakteristiky sondy. Třetí kapitola se věnuje samotnému experimentálnímu popisu sondy, aparatury a s nimi spojenou obsluhu. Plazma, které bylo měřeno v rámci této práce, pocházelo od nového dutého magnetronu, který bude sloužit jako budoucí zdroj nanočástic. Výsledky práce se soustřeďují na popsání jednotlivých veličin plazmatu v závislosti na dalších proměnných, jako jsou výkon magnetronu, tlak plynu, prostorová závislost, přítomnost dalšího vnějšího magnetického pole.cs_CZ
uk.abstract.enThis experimental work is concerned with measurement of elementary characteristics of plasma - potential of plasma, electron temperature and density of particles. As research methods were selected the Langmuir probes - especially the single probe. At the beginning of the thesis there are explained shortly the elementary characteristics of plasma and the procedure of determination particular parameters of the plasma from the volt-ampere characteristics of the probe. The third chapter is focused on description of the experiment, the probe, the apparatus and its control. Plasma measured within this work originated from the new hollow magnetron which will serve as future source of nanoparticles. Results of the work are focused on the description of individual parameters of the plasma in dependence on other variables such as the magnetron power, pressure of gas, spatial dependence or presence of additional auxiliary magnetic field.en_US
uk.publication.placePrahacs_CZ
uk.grantorUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakulta, Katedra makromolekulární fyzikycs_CZ


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record


© 2017 Univerzita Karlova, Ústřední knihovna, Ovocný trh 560/5, 116 36 Praha 1; email: admin-repozitar [at] cuni.cz

Za dodržení všech ustanovení autorského zákona jsou zodpovědné jednotlivé složky Univerzity Karlovy. / Each constituent part of Charles University is responsible for adherence to all provisions of the copyright law.

Upozornění / Notice: Získané informace nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora. / Any retrieved information shall not be used for any commercial purposes or claimed as results of studying, scientific or any other creative activities of any person other than the author.

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Theme by 
@mire NV