Diagnostika plazmatu depozičních zdrojů pomocí Langmuirových sond

Abstract

Tato experimentální práce se zabývá měřením základních vlastností plazmatu - plazmového potenciálu, elektronové teploty a hustoty částic. Jako měřicí metody byly zvoleny Langmuirovy sondy - zvláště jednoduchá sonda. Na začátku práce jsou vyloženy krátce základní vlastnosti plazmatu, dále je popsána metodika určování jednotlivých parametrů plazmatu z voltampérové charakteristiky sondy. Třetí kapitola se věnuje samotnému experimentálnímu popisu sondy, aparatury a s nimi spojenou obsluhu. Plazma, které bylo měřeno v rámci této práce, pocházelo od nového dutého magnetronu, který bude sloužit jako budoucí zdroj nanočástic. Výsledky práce se soustřeďují na popsání jednotlivých veličin plazmatu v závislosti na dalších proměnných, jako jsou výkon magnetronu, tlak plynu, prostorová závislost, přítomnost dalšího vnějšího magnetického pole.

This experimental work is concerned with measurement of elementary characteristics of plasma - potential of plasma, electron temperature and density of particles. As research methods were selected the Langmuir probes - especially the single probe. At the beginning of the thesis there are explained shortly the elementary characteristics of plasma and the procedure of determination particular parameters of the plasma from the volt-ampere characteristics of the probe. The third chapter is focused on description of the experiment, the probe, the apparatus and its control. Plasma measured within this work originated from the new hollow magnetron which will serve as future source of nanoparticles. Results of the work are focused on the description of individual parameters of the plasma in dependence on other variables such as the magnetron power, pressure of gas, spatial dependence or presence of additional auxiliary magnetic field.