Příprava lamel pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) pomocí fokusovaného iontového svazku (FIB)

Abstract

Práce zkoumá možnosti tvorby vzorků pro transmisní elektronový mikroskop pomocí řádkovacího elektronového mikroskopu (SEM) a fokusovaného iontového svazku (FIB). Zkoumá vliv tvorby ochranných povrchů na vzorku pomocí Pt, W a SiO2 elektrony, respektive ionty, indukovanou depozici. Lamela je vykopána pomocí FIB a následně je pomocí nanomanipulátora a wolframového hrotu přenesena na držák pro transmisní elektronový mikroskop, kde je uchycena pomocí depozice a dále ztenčována pomocí FIB. Výsledné vzorky jsou porovnávány pomocí zobrazení v SEM a parametry výroby jsou optimalizovány tak, aby výsledný vzorek byl co nejméně ovlivněn procesem výroby.

In this work is studied preparation of specimen for transmission electron microscope (TEM). Scanning electron microscope (SEM) device combined with focused ion beam (FIB) is used. There is studied ion and electron induced deposition of P t, W a SiO2 . Lamela is miled by FIB into the specimen and it is transferred to the holder for TEM by nanomanupulating with thungsten tip. The specimen is attached to the tip and to the holder by the deposition of material. After beeing attached to the holder the specimen is thinned by FIB. The created lamelas are compared by SEM and the parameters of process are optimalised so that as few changes as possible are made to the specimen.