A study of diagnostic systems for plasma sources designed for deposition of thin films (with an applicaton in plasma chemistry)
Studium diagnostických systémů pro plazmové zdroje určené pro depozice tenkých vrstev ( s aplikací v plazmochemii)
dizertační práce (OBHÁJENO)
Zobrazit/ otevřít
Trvalý odkaz
http://hdl.handle.net/20.500.11956/24286Identifikátory
SIS: 42571
Kolekce
- Kvalifikační práce [10957]
Autor
Vedoucí práce
Oponent práce
Pavlík, Jaroslav
Biederman, Hynek
Zajíčková, Lenka
Fakulta / součást
Matematicko-fyzikální fakulta
Obor
Fyzika plazmatu a ionizovaných prostředí
Katedra / ústav / klinika
Katedra fyziky povrchů a plazmatu
Datum obhajoby
11. 1. 2010
Nakladatel
Univerzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultaJazyk
Angličtina
Známka
Prospěl/a