Přizpůsobení Curling sondy pro vyšší koncentrace plazmatu

Abstract

The subject of this thesis is the improvement of electron concentration mea- surements using a Curling probe in a system with a hot cathode and an argon atmosphere. For this purpose, new Curling probes with a shorter spiral length, and thus a higher probe resonance frequency, were fabricated. At the same time, a software interface was developed for the Advanced Devices ADF4351 frequency synthesizer chip with a frequency range of 35 MHz to 4,4 GHz. Af- ter verifying the properties of the frequency synthesizer, the properties of the Curling probe outside the plasma were investigated and its calibration was per- formed. The measurement of electron concentration in the arc discharge was verified using a reference Langmuir probe. 1

Předmětem diplomové práce je zdokonalení měření koncentrace elektronů pomocí Curling sondy v systému se žhavenou katodou a argonovou atmosférou. Za tímto účelem byly zhotoveny nové Curling sondy s kratší délkou spirály, a tudíž s vyšší rezonanční frekvencí sondy. Zároveň bylo vytvořeno programové rozhraní čipu frekvenčního syntezátoru Advaced Deviced ADF4351 s rozsahem frekvencí 35 MHz až 4,4 GHz. Po ověření vlastností frekvenčního syntezátoru, byly zkoumány vlastnosti Curling sondy mimo plazma a provedena její kali- brace. Měření koncentrace elektronů v obloukovém výboji bylo ověřeno pomocí referenční Langmuirovy sondy. 1