Hledat
Zobrazují se záznamy 1-1 z 1
Nanostrukturované vrstvy na bázi plazmových polymerů
Nanostructured films based on plasma polymers
Rigorózní práce (UZNÁNO)
Datum publikování: 2012
Datum obhajoby: 29. 02. 2012
Fakulta / součást: Matematicko-fyzikální fakulta / Faculty of Mathematics and Physics
Abstrakt: V předložené práci studujeme růst a vlastnosti tenkých vrstev připravených za pomoci šikmé depozice magnetronovým naprašováním. Popisujeme konstrukci nízkotlakého magnetronu. Studujeme vliv depozičních podmínek na tvorbu ...
In this thesis we have studied growth and properties of thin films prepared by tilted deposition using sputtering. The construction of low pressure magnetron is presented. The influence of deposition conditions on formation ...
In this thesis we have studied growth and properties of thin films prepared by tilted deposition using sputtering. The construction of low pressure magnetron is presented. The influence of deposition conditions on formation ...