Diagnostika technologického plazmatu

Abstract

Předmětem diplomové práce je rozšíření měření parametrů plazmatu Langmuirovou sondou v systému s planárním magnetronem a plazmovou tryskou pracujících v pulzním režimu. Hlavními úkoly jsou úprava měřicího obvodu pro zvýšení maximálního sondového proudu a zprovoznění USB osciloskopu pro sběr dat s vyšším rozlišením a vyšší vzorkovací rychlostí. Dále bude ověřena funkce celého zařízení pomocí testovacích obvodů a také měřením sondových charakteristik ve výbojích v systému s magnetronem i plazmovou tryskou a to v kontinuálním i pulzním režimu. 1

The subject of the master thesis is the extension of the measurement of plasma para- meters by the Langmuir probe in a system with a planar magnetron and a hollow cathode operating in pulse mode. The main tasks are to modify the measuring circuit to increase the maximum probe current and to put the USB oscilloscope into operation for data collection with higher resolution and higher sampling rate. Furthermore, the function of the entire device will be verified using test circuits and also by measuring the probe characteristics in discharges in a system with a magnetron and a hollow cathode in both continuous and pulse mode. 1