Příprava vzorků nanostruktur v SEM/FIB a jejich studium v transmisním elektronovém mikroskopu
Preparation of nanostructure samples in SEM/FIB and their study in TEM
Příprava vzorků nanostruktur v SEM/FIB a jejich studium v transmisním elektronovém mikroskopu
diplomová práce (OBHÁJENO)
Zobrazit/ otevřít
Trvalý odkaz
http://hdl.handle.net/20.500.11956/46551Identifikátory
SIS: 118839
Kolekce
- Kvalifikační práce [10957]
Autor
Vedoucí práce
Konzultant práce
Matolín, Vladimír
Oponent práce
Pešička, Josef
Fakulta / součást
Matematicko-fyzikální fakulta
Obor
Fyzika povrchů a ionizovaných prostředí
Katedra / ústav / klinika
Katedra fyziky povrchů a plazmatu
Datum obhajoby
18. 5. 2012
Nakladatel
Univerzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultaJazyk
Slovenština
Známka
Výborně
Klíčová slova (česky)
oxid céru, lamela, SEM, TEM, FIBKlíčová slova (anglicky)
cerium oxide, lamella, SEM, TEM, FIBTáto práca je zameraná na štúdium vrstiev oxidu céru (dopovaných platinou) pripravených magnetrónovým naprašovaním na rôzne druhy substrátov. Pozor- nosť je upriamená predovšetkým na spôsob rastu a morfológiu vrstiev (Pt−)CeO2. Štúdium prebiehalo prostredníctvom skenovacej elektrónovej mikroskopie (SEM) a transmisnej elektrónovej mikroskopie (TEM). Vzorky (lamely) pre TEM boli pripravené pomocou fokusovaného iónového zväzku (FIB) s ohľadom na transpa- rentnosť pre elektrónový zväzok a dostatočný materiálový kontrast. Zároveň bol kladený doraz na elimináciu redepozície a minimalizáciu amorfnej vrstvy lamiel. Zastúpenie jednotlivých prvkov bolo určované energiovo-disperznou spektrosko- piou (EDX) a spektroskopiou charakteristických energetických strát elektrónov (EELS). 1
This work is studying the layers of cerium oxide (doped with platinum) prepa- red by magnetron sputtering on different types of substrates. Attention is focused mainly on modes of growth and morfology of (Pt−)CeO2 layers. The study was carried out by scanning electron microscopy (SEM) and transmission electron microscopy (TEM). The specimens (lamellas) were created by using focused ion beam (FIB) with respect to transparency for electron beam and material contrast. The emphasis was on elimination of redeposition and minimize the amorphous layer of lamella. Representation of elements was determined by energy-dispersive spectroscopy (EDX) and electron-energy loss spectroscopy (EELS). 1