Sondová diagnostika impulzně generovaného plazmatu
Probe diagnostics of the pulse-generated plasma
bachelor thesis (DEFENDED)
View/ Open
Permanent link
http://hdl.handle.net/20.500.11956/101877Identifiers
Study Information System: 189978
Collections
- Kvalifikační práce [10932]
Author
Advisor
Consultant
Kudrna, Pavel
Referee
Kaňka, Adolf
Faculty / Institute
Faculty of Mathematics and Physics
Discipline
General Physics
Department
Department of Surface and Plasma Science
Date of defense
13. 9. 2018
Publisher
Univerzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultaLanguage
Czech
Grade
Excellent
Keywords (Czech)
Langmuirova sonda, Magnetron, Dutá katoda, HiPIMSKeywords (English)
Langmuir probe, Planar magnetron, Hollow cathode, HiPIMSPředmětem bakalářské práce je diagnostika plazmatu v systému s magnetronem a s dutou katodou pracujícím v impulsním režimu, kdy je plazma generováno impulzy stejnosměrného napětí. Použitou diagnostickou metodou bude Langmuirova sonda. Cílem práce je konstrukce elektronického měřicího systému řízeného počítačem, a ověření jeho funkce při měření parametrů plazmatu argonového výboje v obou systémech s časovým rozlišením, tj. v závislosti na čase během jedné impulsní periody.
The subject of the bachelor thesis is the plasma diagnostics in the planar magnetron and in the hollow cathode system operating in the pulse mode, when the plasma is generated by DC pulses. The diagnostics method used will be the Langmuir probe. The aim of the thesis is the construction of the computer-controlled electronic measuring system and its assessment when measuring the parameters of argon discharge plasma in both systems with time resolution i.e. depending on time during one pulse period.