Show simple item record

Charakterizace vysoce porézních Pd-modifikovaných SnO2 naprášovaných tenkých vrstev pro detekci H2
dc.contributor.advisorVeltruská, Kateřina
dc.creatorChundak, Mykhailo
dc.date.accessioned2018-11-30T13:19:16Z
dc.date.available2018-11-30T13:19:16Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/20.500.11956/65523
dc.description.abstractTitle: Characterization of highly porous Pd-modified SnO2 sputtered thin films for H2 detection Autor: Mgr. Mykhailo Chundak Department/Institute: Department of Surface and Plasma Science Supervisor of the doctoral thesis: RNDr. Kateřina Veltruská, CSc., Department of Surface and Plasma Science Abstract: This doctoral thesis contains the study of tin dioxide and Pd-doped tin dioxide samples deposited by magnetron sputtering utilizing glancing angle deposition (GLAD). Influence of the deposition parameters on the change of morphology, crystalline structure and chemical state was studied. The samples were characterized by a variety of techniques, such as: X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), synchrotron radiation photoelectron spectroscopy (SRPES), scanning electron microscopy (SEM) and high resolution transmission electron microscopy (HRTEM). Prepared samples showed high porosity which could be controlled by deposition parameters (angle of the deposition, gas pressure and power of magnetron discharge). Highly porous SnO2 GLAD samples and Pd modified SnO2 GLAD samples were deposited on the substrates at room temperature and 300 řC. These samples were found to be polycrystalline with certain fraction of amorphous contribution, given by preparation conditions. The size of the...en_US
dc.description.abstractNázev práce: Charakterizace vysoce porézních Pd-modifikovaných SnO2 naprášovaných tenkých vrstev pro detekci H2 Autor: Mgr. Mykhailo Chundak Katedra / Ústav: Katedra fyziky povrchů a plazmatu Vedoucí doktorské práce: RNDr. Kateřina Veltruská, CSc., Katedra fyziky povrchů a plazmatu Abstrakt: Doktorská práce je věnována studiu tenkých vrstev oxidu cínu, čistých i dopovaných paladiem, připravených magnetronovým naprašováním s využitím depozice pod úhlem (GLAD). Byl zkoumán vliv depozičních parametrů na změnu morfologie, krystalické struktury a chemického stavu. Vzorky byly charakterizovány různými metodami: rentgenovskou difrakcí (XRD), rentgenovskou fotoelektronovou spektroskopií (XPS), fotoelektronovou spektroskopií s využitím synchrotronního záření (SRPES), řádkovací elektronovou mikroskopií (SEM) a transmisní elektronovou mikroskopií s vysokým rozlišením (HRTEM). Připravené vrstvy vykazovaly vysokou porozitu, kterou je možné řídit depozičními parametry (úhel depozice, tlak plynu a výkon magnetronového výboje). Vysoce porézní vrstvy SnO2 GLAD a Pd-dopované SnO2 GLAD byly deponovány na substrát při pokojové teplotě a při 300 řC. Tyto vrstvy vykazovaly polykrystalickou strukturu s příměsí amorfní části, jejíž podíl byl dán podmínkami přípravy. Pomocí HRTEM byla určena velikost krystalků, pohybovala se od 5...cs_CZ
dc.languageEnglishcs_CZ
dc.language.isoen_US
dc.publisherUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.subjectmagnetron sputteringen_US
dc.subjectGLADen_US
dc.subjectXRDen_US
dc.subjectXPSen_US
dc.subjectSRPESen_US
dc.subjectSEMen_US
dc.subjectTEMen_US
dc.subjectgas sensitivity (response) measurementsen_US
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs_CZ
dc.subjectGLADcs_CZ
dc.subjectXRDcs_CZ
dc.subjectXPScs_CZ
dc.subjectSRPEScs_CZ
dc.subjectSEMcs_CZ
dc.subjectTEMcs_CZ
dc.subjectplynový konduktometrický senzorcs_CZ
dc.titleCharacterization of highly porous Pd-modified SnO2 sputtered thin films for H2 detectionen_US
dc.typedizertační prácecs_CZ
dcterms.created2015
dcterms.dateAccepted2015-06-25
dc.description.departmentKatedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
dc.description.departmentDepartment of Surface and Plasma Scienceen_US
dc.description.facultyFaculty of Mathematics and Physicsen_US
dc.description.facultyMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.identifier.repId75551
dc.title.translatedCharakterizace vysoce porézních Pd-modifikovaných SnO2 naprášovaných tenkých vrstev pro detekci H2cs_CZ
dc.contributor.refereeJiříček, Petr
dc.contributor.refereeŠmíd, Břetislav
dc.identifier.aleph002028674
thesis.degree.namePh.D.
thesis.degree.leveldoktorskécs_CZ
thesis.degree.disciplineFyzika povrchů a rozhranícs_CZ
thesis.degree.disciplinePhysics of Surfaces and Interfacesen_US
thesis.degree.programPhysicsen_US
thesis.degree.programFyzikacs_CZ
uk.faculty-name.csMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
uk.faculty-name.enFaculty of Mathematics and Physicsen_US
uk.faculty-abbr.csMFFcs_CZ
uk.degree-discipline.csFyzika povrchů a rozhranícs_CZ
uk.degree-discipline.enPhysics of Surfaces and Interfacesen_US
uk.degree-program.csFyzikacs_CZ
uk.degree-program.enPhysicsen_US
thesis.grade.csProspěl/acs_CZ
thesis.grade.enPassen_US
uk.abstract.csNázev práce: Charakterizace vysoce porézních Pd-modifikovaných SnO2 naprášovaných tenkých vrstev pro detekci H2 Autor: Mgr. Mykhailo Chundak Katedra / Ústav: Katedra fyziky povrchů a plazmatu Vedoucí doktorské práce: RNDr. Kateřina Veltruská, CSc., Katedra fyziky povrchů a plazmatu Abstrakt: Doktorská práce je věnována studiu tenkých vrstev oxidu cínu, čistých i dopovaných paladiem, připravených magnetronovým naprašováním s využitím depozice pod úhlem (GLAD). Byl zkoumán vliv depozičních parametrů na změnu morfologie, krystalické struktury a chemického stavu. Vzorky byly charakterizovány různými metodami: rentgenovskou difrakcí (XRD), rentgenovskou fotoelektronovou spektroskopií (XPS), fotoelektronovou spektroskopií s využitím synchrotronního záření (SRPES), řádkovací elektronovou mikroskopií (SEM) a transmisní elektronovou mikroskopií s vysokým rozlišením (HRTEM). Připravené vrstvy vykazovaly vysokou porozitu, kterou je možné řídit depozičními parametry (úhel depozice, tlak plynu a výkon magnetronového výboje). Vysoce porézní vrstvy SnO2 GLAD a Pd-dopované SnO2 GLAD byly deponovány na substrát při pokojové teplotě a při 300 řC. Tyto vrstvy vykazovaly polykrystalickou strukturu s příměsí amorfní části, jejíž podíl byl dán podmínkami přípravy. Pomocí HRTEM byla určena velikost krystalků, pohybovala se od 5...cs_CZ
uk.abstract.enTitle: Characterization of highly porous Pd-modified SnO2 sputtered thin films for H2 detection Autor: Mgr. Mykhailo Chundak Department/Institute: Department of Surface and Plasma Science Supervisor of the doctoral thesis: RNDr. Kateřina Veltruská, CSc., Department of Surface and Plasma Science Abstract: This doctoral thesis contains the study of tin dioxide and Pd-doped tin dioxide samples deposited by magnetron sputtering utilizing glancing angle deposition (GLAD). Influence of the deposition parameters on the change of morphology, crystalline structure and chemical state was studied. The samples were characterized by a variety of techniques, such as: X-ray diffraction (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), synchrotron radiation photoelectron spectroscopy (SRPES), scanning electron microscopy (SEM) and high resolution transmission electron microscopy (HRTEM). Prepared samples showed high porosity which could be controlled by deposition parameters (angle of the deposition, gas pressure and power of magnetron discharge). Highly porous SnO2 GLAD samples and Pd modified SnO2 GLAD samples were deposited on the substrates at room temperature and 300 řC. These samples were found to be polycrystalline with certain fraction of amorphous contribution, given by preparation conditions. The size of the...en_US
uk.file-availabilityV
uk.publication.placePrahacs_CZ
uk.grantorUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakulta, Katedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
thesis.grade.codeP


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record


© 2017 Univerzita Karlova, Ústřední knihovna, Ovocný trh 3-5, 116 36 Praha; email: admin-repozitar [at] cuni.cz

Za dodržení všech ustanovení autorského zákona jsou zodpovědné jednotlivé složky Univerzity Karlovy. / Each constituent part of Charles University is responsible for adherence to all provisions of the copyright law.

Upozornění / Notice: Získané informace nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora. / Any retrieved information shall not be used for any commercial purposes or claimed as results of studying, scientific or any other creative activities of any person other than the author.

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Theme by 
@mire NV