Show simple item record

Study of gas sensing properties of tungsten oxide thin films
dc.contributor.advisorMašek, Karel
dc.creatorVojík, Jiří
dc.date.accessioned2021-03-26T18:17:00Z
dc.date.available2021-03-26T18:17:00Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/20.500.11956/61845
dc.description.abstractPředmětem předložené práce je studium plynově senzorických vlastností čistých a platinou dopovaných tenkých vrstev oxidu wolframu na skleněném substrátu. Potřebné vrstvy byly připravovány magnetronovým naprašováním z wolframoxidového terče. Chemické složení a morfologie vrstev byly studovány metodami XPS a SEM. Zjistilo se, že deponované vrstvy jsou relativně rovné, homogenní a skládají se z polykrystalického WO3. Také se ukázalo, že platina přítomná v modifikovaných vrstvách je ve formě oxidů PtO2 a PtO. Během následného ohřevu na vzduchu, který je potřebný pro správné fungování vrstev jako senzorů, došlo ke zvýšení vodivosti vrstev a také k částečné redukci PtO2. Senzorické vlastnosti vrstev byly studovány při pracovní teplotě 300 řC. Větší citlivost na expozici vodíku prokázala platinou dopovaná vrstva.cs_CZ
dc.description.abstractPurpose of this thesis is a study of gas sensing properties of pure and platinum doped tungsten oxide thin films, which are deposited on a glass substrate. Needed films were prepared by magnetron sputtering method. Chemical composition and morphology of the films were investigated by means of XPS and SEM. It was discovered that prepared films are relatively flat and homogenous. They consist of polycrystalline WO3. It emerged that platinum which is present in modified films is in form of the PtO2 and PtO oxides. During subsequent heating of the films in air, which is needed for right function of films as sensors, PtO2 partially reduced. The resistance of the films decreased after heating. Sensing properties of the films were studied at 300 řC. The platinum doped film was more sensitive to exposition of hydrogen than the pure film.en_US
dc.languageČeštinacs_CZ
dc.language.isocs_CZ
dc.publisherUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.subjecttungsten oxideen_US
dc.subjectconductometric sensoren_US
dc.subjecthydrogenen_US
dc.subjectplatinumen_US
dc.subjectXPSen_US
dc.subjectoxid wolframucs_CZ
dc.subjectodporový senzorcs_CZ
dc.subjectvodíkcs_CZ
dc.subjectplatinacs_CZ
dc.subjectXPScs_CZ
dc.titleStudium senzorických vlastností tenkých vrstev oxidu wolframucs_CZ
dc.typebakalářská prácecs_CZ
dcterms.created2015
dcterms.dateAccepted2015-06-23
dc.description.departmentKatedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
dc.description.departmentDepartment of Surface and Plasma Scienceen_US
dc.description.facultyMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.description.facultyFaculty of Mathematics and Physicsen_US
dc.identifier.repId125748
dc.title.translatedStudy of gas sensing properties of tungsten oxide thin filmsen_US
dc.contributor.refereeŠevčíková, Klára
dc.identifier.aleph002010968
thesis.degree.nameBc.
thesis.degree.levelbakalářskécs_CZ
thesis.degree.disciplineGeneral Physicsen_US
thesis.degree.disciplineObecná fyzikacs_CZ
thesis.degree.programFyzikacs_CZ
thesis.degree.programPhysicsen_US
uk.thesis.typebakalářská prácecs_CZ
uk.taxonomy.organization-csMatematicko-fyzikální fakulta::Katedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
uk.taxonomy.organization-enFaculty of Mathematics and Physics::Department of Surface and Plasma Scienceen_US
uk.faculty-name.csMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
uk.faculty-name.enFaculty of Mathematics and Physicsen_US
uk.faculty-abbr.csMFFcs_CZ
uk.degree-discipline.csObecná fyzikacs_CZ
uk.degree-discipline.enGeneral Physicsen_US
uk.degree-program.csFyzikacs_CZ
uk.degree-program.enPhysicsen_US
thesis.grade.csVýborněcs_CZ
thesis.grade.enExcellenten_US
uk.abstract.csPředmětem předložené práce je studium plynově senzorických vlastností čistých a platinou dopovaných tenkých vrstev oxidu wolframu na skleněném substrátu. Potřebné vrstvy byly připravovány magnetronovým naprašováním z wolframoxidového terče. Chemické složení a morfologie vrstev byly studovány metodami XPS a SEM. Zjistilo se, že deponované vrstvy jsou relativně rovné, homogenní a skládají se z polykrystalického WO3. Také se ukázalo, že platina přítomná v modifikovaných vrstvách je ve formě oxidů PtO2 a PtO. Během následného ohřevu na vzduchu, který je potřebný pro správné fungování vrstev jako senzorů, došlo ke zvýšení vodivosti vrstev a také k částečné redukci PtO2. Senzorické vlastnosti vrstev byly studovány při pracovní teplotě 300 řC. Větší citlivost na expozici vodíku prokázala platinou dopovaná vrstva.cs_CZ
uk.abstract.enPurpose of this thesis is a study of gas sensing properties of pure and platinum doped tungsten oxide thin films, which are deposited on a glass substrate. Needed films were prepared by magnetron sputtering method. Chemical composition and morphology of the films were investigated by means of XPS and SEM. It was discovered that prepared films are relatively flat and homogenous. They consist of polycrystalline WO3. It emerged that platinum which is present in modified films is in form of the PtO2 and PtO oxides. During subsequent heating of the films in air, which is needed for right function of films as sensors, PtO2 partially reduced. The resistance of the films decreased after heating. Sensing properties of the films were studied at 300 řC. The platinum doped film was more sensitive to exposition of hydrogen than the pure film.en_US
uk.file-availabilityV
uk.grantorUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakulta, Katedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
thesis.grade.code1
dc.contributor.consultantMatolín, Vladimír
uk.publication-placePrahacs_CZ
uk.thesis.defenceStatusO


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record


© 2017 Univerzita Karlova, Ústřední knihovna, Ovocný trh 560/5, 116 36 Praha 1; email: admin-repozitar [at] cuni.cz

Za dodržení všech ustanovení autorského zákona jsou zodpovědné jednotlivé složky Univerzity Karlovy. / Each constituent part of Charles University is responsible for adherence to all provisions of the copyright law.

Upozornění / Notice: Získané informace nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora. / Any retrieved information shall not be used for any commercial purposes or claimed as results of studying, scientific or any other creative activities of any person other than the author.

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Theme by 
@mire NV