Studium parametrů plazmatu v plazmatické trysce

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá diagnostikou nízkoteplotního plazmatu pomocí Langmuirovy sondy. Měření byla provedena na systému plazmové trysky, který je velmi perspektivní zejména pro depozici tenkých vrstev. Kromě různých odolných a průmyslově zajímavých vrstev existují i vrstvy se speciálními elektrickými nebo optickými vlastnostmi, které jiným způsobem připravit nelze. Znalost parametrů používaného plazmatu je nezbytná pro řízení a reprodukovatelnost materiálových depozic. Hlavní přínos předkládané práce spočívá v proměření vertikálních profilů hlavních parametrů plazmatu (elektronová teplota, hustota a střední energie; plovoucí potenciál, potenciál plazmatu) za různých tlaků.

This thesis deals with the low-temperature plasma diagnostics by means of electrostatic Langmuir probe. The measurements were carried out on the experimental system of plasma jet which is very perspective mainly for the deposition of thin layers. Besides different resistant and industrial compelling surfaces there are also some layers with specific electrical or optical properties that cannot be prepared in other way. In order to control and reproduce such material depositions, the knowledge of plasma parameters is inevitable. The main contribution of this work lies in the measurement of vertical profiles of main plasma parameters (electron temperature, density and mean energy; the floating and plasma potential) in different pressure conditions.