Studium interakce multikomponentního plazmatu s pevnými látkami postupy počítačové fyziky

Abstract

Předmětem studia jsou fyzikální procesy probíhající při interakci inertního i chemicky aktivního plazmatu s povrchy vnořených pevných látek. Metodikou práce je počítačové modelování založené na experimentálních datech získaných na pracovišti i převzatých z literatury. Těžiště práce je ve dvourozměrných částicových modelech, jejichž výstupy jsou parametry stínící vrstvy vytvořené v okolí vnořené pevné látky i charakteristika nabitých částic v ní obsažených. Studium multikomponentního plazmatu představuje analýzu statických i dynamických vlastností stínící vrstvy v závislosti na elektronegativitě. Důraz je kladen také na zkoumání vlivu použité metodiky počítačového modelování na přesnost dosažených výsledků a efektivitu výpočtů.

Physical processes ongoing during the interaction of both inert gas and chemically active plasma with surfaces of immersed solids are studied in this work. The technique used is a computer modeling based on experimental data obtained in our department and also taken from the literature. Focus of this work are two-dimensional particle simulations, whose outputs are parameters of a sheath formed around the immersed solid and characteristics of the contained charged particles. The study of multicomponent plasma presents an analysis of both statical and dynamical properties of the sheath depending on electronegativity. The research of influence of the computer modeling technique on the accuracy of the results and effi ciency of the computations is also accented.