Hledat
Zobrazují se záznamy 1-1 z 1
Impulsní plazmatické systémy
Pulsed plasma systems
Dizertační práce (OBHÁJENO)
Vedoucí práce: Kudrna, Pavel
Datum publikování: 2013
Datum obhajoby: 19. 06. 2013
Fakulta / součást: Matematicko-fyzikální fakulta / Faculty of Mathematics and Physics
Abstrakt: The doctoral thesis deals with the experimental study of the low-temperature plasma designated for the preparation of thin films using the method of physical sputtering. It describes measurements which were realized on two ...
Disertační práce se zabývá experimentálním studiem nízkoteplotního plazmatu určeného k přípravě tenkých vrstev metodou fyzikálního naprašování. Popisuje měření, která byla realizována na dvou typech zařízení - na systému ...
Disertační práce se zabývá experimentálním studiem nízkoteplotního plazmatu určeného k přípravě tenkých vrstev metodou fyzikálního naprašování. Popisuje měření, která byla realizována na dvou typech zařízení - na systému ...