Show simple item record

Sondové metody pro diagnostiku plazmatických systémů pro depozice tenkých vrstev
dc.contributor.advisorTichý, Milan
dc.creatorZanáška, Michal
dc.date.accessioned2021-03-26T18:42:12Z
dc.date.available2021-03-26T18:42:12Z
dc.date.issued2019
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/20.500.11956/106559
dc.description.abstractTato disertačnı́ práce se zabývá experimentálnı́m studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivnı́ho naprašovánı́. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucı́ harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měřenı́ iontové koncentrace a elektronové teploty v nı́zkoteplotnı́m technolo- gickém plazmatu. Běžně je použı́vána klasická Langmuirova sonda, ale jejı́použitı́ v podmı́nkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřı́cı́ metoda plovoucı́ harmonické sondy řešı́ tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měřenı́ plovoucı́ harmonickou sondou jsou porovnány s měřenı́m Langmuirovou sondou při nereaktivnı́ch podmı́nkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena jejı́ funkčnost i během reaktivnı́ch podmı́nek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucı́harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulznı́ch výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocı́této metody může být určena kapacita a...cs_CZ
dc.description.abstractThe doctoral thesis deals with an experimental study of several diagnostic techniques intended for plasma diagnostics and diagnostics of thin films during reactive sputter deposition. A relatively novel probe diagnostic technique called Floating harmonic probe for measurement of the ion density and electron tem- perature in technological low-temperature plasma is studied. A Langmuir probe is commonly used, however, its application in conditions where non-conducting films are being deposited can be problematic or unreliable. The floating harmonic probe measurement technique deals with this inherent problem of the Langmuir probe. The Floating harmonic probe results are compared to those obtained by a classical Langmuir probe in non-reactive DC continuously driven discharge, and its applicability in reactive regime during deposition of iron oxide thin films is proved. The work deals also with a modification of the Floating harmonic probe called Phase Delay Harmonic Analysis Method which is intended for diagnostics of pulsed driven discharges. The second part of the thesis is devoted to a new proposed method for in-situ diagnostics of thin films. This method monitors the capacitance and resistance of a thin film during deposition up to the frequencies in the kHz range. This new method could be used for...en_US
dc.languageEnglishcs_CZ
dc.language.isoen_US
dc.publisherUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.subjectfloating harmonic probeen_US
dc.subjectplasma jeten_US
dc.subjectreactive sputteringen_US
dc.subjectpulsed dischargeen_US
dc.subjectin-situ impedance spectroscopyen_US
dc.subjectplovoucí harmonická sondacs_CZ
dc.subjectplazmatická tryskacs_CZ
dc.subjectreaktivní naprašovánícs_CZ
dc.subjectpulzní výbojcs_CZ
dc.subjectin-situ impedanční spektroskopiecs_CZ
dc.titleProbe methods for diagnostics of plasmatic systems for deposition of thin filmsen_US
dc.typedizertační prácecs_CZ
dcterms.created2019
dcterms.dateAccepted2019-05-31
dc.description.departmentKatedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
dc.description.departmentDepartment of Surface and Plasma Scienceen_US
dc.description.facultyMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
dc.description.facultyFaculty of Mathematics and Physicsen_US
dc.identifier.repId164180
dc.title.translatedSondové metody pro diagnostiku plazmatických systémů pro depozice tenkých vrstevcs_CZ
dc.contributor.refereeDvořák, Pavel
dc.contributor.refereeStraňák, Vítězslav
dc.identifier.aleph002281000
thesis.degree.namePh.D.
thesis.degree.leveldoktorskécs_CZ
thesis.degree.disciplinePhysics of Plasma and Ionized Mediaen_US
thesis.degree.disciplineFyzika plazmatu a ionizovaných prostředícs_CZ
thesis.degree.programFyzikacs_CZ
thesis.degree.programPhysicsen_US
uk.thesis.typedizertační prácecs_CZ
uk.taxonomy.organization-csMatematicko-fyzikální fakulta::Katedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
uk.taxonomy.organization-enFaculty of Mathematics and Physics::Department of Surface and Plasma Scienceen_US
uk.faculty-name.csMatematicko-fyzikální fakultacs_CZ
uk.faculty-name.enFaculty of Mathematics and Physicsen_US
uk.faculty-abbr.csMFFcs_CZ
uk.degree-discipline.csFyzika plazmatu a ionizovaných prostředícs_CZ
uk.degree-discipline.enPhysics of Plasma and Ionized Mediaen_US
uk.degree-program.csFyzikacs_CZ
uk.degree-program.enPhysicsen_US
thesis.grade.csProspěl/acs_CZ
thesis.grade.enPassen_US
uk.abstract.csTato disertačnı́ práce se zabývá experimentálnı́m studiem několika metod pro diagnostiku plazmatu a diagnostiku tenkých vrstev deponovaných během re- aktivnı́ho naprašovánı́. Studována je relativně nová sondová diagnostická me- toda, takzvaná plovoucı́ harmonická sonda (floating harmonic probe), určená pro měřenı́ iontové koncentrace a elektronové teploty v nı́zkoteplotnı́m technolo- gickém plazmatu. Běžně je použı́vána klasická Langmuirova sonda, ale jejı́použitı́ v podmı́nkách, kdy jsou naprašovány nevodivé vrsty, může být problematické nebo nespolehlivé. Měřı́cı́ metoda plovoucı́ harmonické sondy řešı́ tento problém klasické Langmuirovy sondy. Výsedky z měřenı́ plovoucı́ harmonickou sondou jsou porovnány s měřenı́m Langmuirovou sondou při nereaktivnı́ch podmı́nkách v kontinuálně buzeném stejnosměrném výboji a je ověřena jejı́ funkčnost i během reaktivnı́ch podmı́nek během depozice tenkých vrstev oxidu železa. Tato práce se zaměřuje také na modifikaci metody plovoucı́harmonické sondy známou jako PD- HAM (phase delay harmonic analysis method) určenou pro diagnostiku pulznı́ch výbojů. Druhá část práce se věnuje nově navržené metodě pro in-situ diagnostiku tenkých vrstev. Pomocı́této metody může být určena kapacita a...cs_CZ
uk.abstract.enThe doctoral thesis deals with an experimental study of several diagnostic techniques intended for plasma diagnostics and diagnostics of thin films during reactive sputter deposition. A relatively novel probe diagnostic technique called Floating harmonic probe for measurement of the ion density and electron tem- perature in technological low-temperature plasma is studied. A Langmuir probe is commonly used, however, its application in conditions where non-conducting films are being deposited can be problematic or unreliable. The floating harmonic probe measurement technique deals with this inherent problem of the Langmuir probe. The Floating harmonic probe results are compared to those obtained by a classical Langmuir probe in non-reactive DC continuously driven discharge, and its applicability in reactive regime during deposition of iron oxide thin films is proved. The work deals also with a modification of the Floating harmonic probe called Phase Delay Harmonic Analysis Method which is intended for diagnostics of pulsed driven discharges. The second part of the thesis is devoted to a new proposed method for in-situ diagnostics of thin films. This method monitors the capacitance and resistance of a thin film during deposition up to the frequencies in the kHz range. This new method could be used for...en_US
uk.file-availabilityP
uk.grantorUniverzita Karlova, Matematicko-fyzikální fakulta, Katedra fyziky povrchů a plazmatucs_CZ
thesis.grade.codeP
dc.contributor.consultantKudrna, Pavel
dc.contributor.consultantHubička, Zdeněk
uk.publication-placePrahacs_CZ
dc.date.embargoEndDate31-05-2022
uk.thesis.defenceStatusO


Files in this item

Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail
Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record


© 2017 Univerzita Karlova, Ústřední knihovna, Ovocný trh 560/5, 116 36 Praha 1; email: admin-repozitar [at] cuni.cz

Za dodržení všech ustanovení autorského zákona jsou zodpovědné jednotlivé složky Univerzity Karlovy. / Each constituent part of Charles University is responsible for adherence to all provisions of the copyright law.

Upozornění / Notice: Získané informace nemohou být použity k výdělečným účelům nebo vydávány za studijní, vědeckou nebo jinou tvůrčí činnost jiné osoby než autora. / Any retrieved information shall not be used for any commercial purposes or claimed as results of studying, scientific or any other creative activities of any person other than the author.

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
Theme by 
@mire NV